一种变加热器的高效多晶硅锭铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种变加热器的高效多晶硅锭铸锭炉，包括炉体、设置在炉体内的隔热笼体、设置在隔热笼体内的石英坩埚，还包括设置在石英坩埚四周面至隔热笼体区间的侧面加热器，侧面加热器的电阻自上而下逐步减小或/和侧面加热器的电阻宽度在石英坩埚顶部指向底板方向上、从上至下宽度逐渐增大。本实用新型技术方案带来的有益效果在于：通过改变侧部加热器上下各部位的热量供应能力和坩埚四周护板、底板与DS散热块各部位的热传导能力，可以有效控制铸锭炉内部的温场分布，改善熔化和长晶界面中心上凸现象，使固液界面趋于平坦，且有利于长晶过程中杂质的排出，从而产出杂质含量少、晶粒相对均匀的高效多晶硅锭。

主权项

一种变加热器的高效多晶硅锭铸锭炉，包括炉体（1）、设置在炉体（1）内的隔热笼体（2）、设置在隔热笼体（2）内的石英坩埚（4），其特征在于：还包括设置在石英坩埚（4）四周面至隔热笼体（2）区间的侧面加热器（10），侧面加热器（10）的电阻自上而下逐步减小或/和侧面加热器（10）的电阻宽度在石英坩埚（4）顶部指向底板方向上、从上至下宽度逐渐增大。