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Testvorrichtung, die in einer Anlage zum Herstellen von Substraten (150) für Solarzellen oder anderen elektronischen Vorrichtungen verwendet wird, umfassend – einen Träger (16), der im Wesentlichen flach ist und eingerichtet ist, um auf einer Oberfläche desselben wenigstens ein Substrat (150) oder eine andere elektrisch zu testende Vorrichtung direkt oder indirekt zu tragen, – ein Trägernest (18) für jedes zu testende Substrat (150), – mehrere Testsonden (42), wobei der Träger (16) mehrere Durchgangslöcher (22) umfasst, von denen jedes für ein Einführen einer entsprechenden Testsonde (42) ausgelegt ist, um eine Verbindung einer jeden Sonde (42) mit einem entsprechenden und vorbestimmten Testbereich des Substrats (150) zu ermöglichen, und – Saugmittel (50), die innerhalb des Trägers (16) von derselben Seite her verteilt angeordnet sind, wo die Testsonden (42) angeordnet sind, und die operativ durch eine Saugleitung (52) mit im Nest (18) vorgesehenen Sauglöchern (24) verbindbar sind, wobei jedes Nest (18) Testlöcher (23) umfasst, die geeignet sind, um bei Verwendung mit den im Träger (16) vorhandenen Durchgangslöchern (22) ausgerichtet zu werden, um den Durchgang der jeweiligen Testsonde (42) zu erlauben, wobei die Saugmittel (50) durch die Saugleitung (52) und die Sauglöcher (24) im Nest (18) eine Haltewirkung durch einen Unterdruck an einer Seite des Substrats (150) ausüben, um dem durch die Testsonden (42) auf die Testbereiche ausgeübten Druck entgegenzuwirken, wobei die Saugleitung (52) mit Saugbereichen (53) versehen ist, die sich um jedes der Testlöcher (23) erstrecken und wenigstens teilweise umgeben, wobei jeder Saugbereich (53) mittels der Sauglöcher (24) mit der oberen Oberfläche des Nests (18) verbunden ist. |
