发明名称
摘要
申请公布号 JP3276277(B2) 申请公布日期 2002.04.22
申请号 JP19950311363 申请日期 1995.11.29
申请人 发明人
分类号 B01J4/00;C23C16/44;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/448 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
主权项
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