发明名称 PROCEDE DE REALISATION DE STRUCTURE COMPOSITE AVEC COLLAGE DE TYPE METAL/METAL
摘要 <p>Procédé de réalisation d'un structure composite (200) comprenant le collage par adhésion moléculaire entre au moins une première plaque (220) et une deuxième plaque (230) comprenant une étape d'initiation de la propagation d'une onde de collage, l'interface de collage entre la première et la deuxième plaques (220, 230) après la propagation de ladite onde de collage présentant une énergie de collage inférieure ou égale à 0,7 J/m . L'étape d'initiation de la propagation de l'onde collage est réalisée dans une ou plusieurs des conditions suivantes : - placement des plaques dans un environnement à une pression inférieure à 20 mbars, - application sur l'une des deux plaques d'une pression mécanique comprise entre 0,1 MPa et 33,3 MPa. Le procédé comprend en outre, après l'étape d'initiation de la propagation d'une onde de collage, une étape de détermination du niveau de contrainte induit lors du collage des deux plaques, ledit niveau de contrainte étant déterminé à partir d'un paramètre de contrainte Ct calculé avec la formule Ct=Rc/Ep, où : - Rc correspond au rayon de courbure (en km) de l'assemblage des deux plaques, - Ep correspond l'épaisseur (en µm) de l'assemblage des deux plaques. Le procédé comprend encore une étape de validation du collage lorsque que le niveau de contrainte Ct déterminé est supérieur ou égal à 0,07.</p>
申请公布号 FR2992772(A1) 申请公布日期 2014.01.03
申请号 FR20120056161 申请日期 2012.06.28
申请人 SOITEC 发明人 RADU IONUT;BROEKAART MARCEL;CASTEX ARNAUD;GAUDIN GWELTAZ;RIOU GREGORY
分类号 H01L21/02;B32B7/04 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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