| 主权项 |
1.一种垂直对准台装置,其包括有:一垂直支撑墙(43);一与支撑墙之前表面相对以垂直姿态布置之对准台(33),且具有一由周围部围绕之曝光设备支撑区域(33a);一多数之台面支撑装置(35),该台面支撑装置系用来支撑对准台于一垂直平面内移动;以及一多数之台面移动装置(37),该台面移动装置系用来使对准台平行于两互相垂直之对准方向内移动;其特征在于每个台面支撑装置(35)包含:一弹性构件(55),该弹性构件持续使对准台(33)朝支撑墙(43)施加偏压;以及一插入于支撑墙与对准台之间的滚动构件(51a),该滚动构件容许该对准台于上述方向内移动。2.如申请专利范围第1项之垂直对准台装置,其中该滚动构件系为一固持于球状脚轮(51)内的球(51a),该球状脚轮固定到该支撑墙(43),且上述对准台(33)具有一接触嵌块(53)固定于该处并具有一与该球滚动接触之表面。3.如申请专利范围第1项之垂直对准台装置,其中该弹性构件系与该滚动构件(51a)邻接提供一张力弹簧(55),且该张力弹簧连结对准台(33)与支撑墙(43)。4.如申请专利范围第3项之垂直对准台装置,其中该支撑墙(43)具有一弹簧连结构件(47),该弹簧连结构件从支撑墙突离对准台(33)方向,且该张力弹簧(55)之一尾端系连结到该弹簧连结构件(47),且其另一尾端系连结到该对准台(33),该张力弹簧(55)延伸穿过支撑墙中之一孔(59)。5.如申请专利范围第1项之垂直对准台装置,其中每个台面移动装置(37)包含一对接触构件(83.85),该接触构件个别地装附到该支撑墙(43)与该对准台(33),以便互相接触;及一用来使接触构件移向或是移开另一接触构件之引动器(71)。6.如申请专利范围第5项之垂直对准台装置,其中该引动器(71)具有一操作杆,且每个台面移动装置(37)之一接触构件与引动器之操作杆的一自由端部啮合。7.如申请专利范围第5项之垂直对准台装置,其中至少有一个该接触构件系为一滚动构件(83)。8.如申请专利范围第5项之垂直对准台装置,其中一接触构件系为一接触嵌块,该接触嵌块固定到对准台(33)与支撑墙(43)其中之一,且另一接触构件系一滚动器(83),该滚动器则固定到对准台(33)与支撑墙(43)之另一者,且滚动器与该接触嵌块(85)滚动接触。9.如申请专利范围第5项之垂直对准台装置,其中该引动器(71)系于对准台(33)与支撑墙(43)其一上安装一转动马达,其并具有螺纹杆(75)形状之输出轴,且该对准台与该支撑墙之另一者已经固定安装于螺帽上,该螺帽系与上述螺纹杆螺旋啮合。10.如申请专利范围第9项之垂直对准台装置,其中该用来推紧该接触构件之弹性构件系一张力弹簧(87),该张力弹簧具有个别连结到该对准台(33)与支撑墙(43)之两尾端。11.如申请专利范围第1项之垂直对准台装置,其中该台面支撑装置(35)以及台面移动装置(37)系提供于对准台(33)之上述周围部分上。12.如申请专利范围第1项之垂直对准台装置,其中该台面支撑装置(35)以及台面移动装置(37)系配置于该对准台之曝光设备支撑区域(33a)外侧。图式简单说明:第1图系本发明之较佳具体实例中使用垂直对准台装置之印刷布线板曝光设备之基本部分的透视图;第2图系显示第1图中所示垂直对准台装置于第3图中由线Ⅱ-Ⅱ上所取得之放大截面图;第3图系显示第1图中所示垂直对准台装置于第2图中由线Ⅲ-Ⅲ上所取得之放大截面图;第4图系第1图中所示垂直对准台装置之基本部分的放大透视图;第5图系一传统水平对准台装置之平面图;且第6图系第5图中所示水平对准台装置之一修改例中传统对准台装置之截面图。 |
