METHOD AND PUMP ARRANGEMENT FOR EVACUATING A CHAMBER

摘要

Verfahren zum Evakuieren einer Kammer (42), bei dem eine Pumpenanordnung aus einer Boosterpumpe (46) und einer nachfolgenden Vorpumpe (47) an die Kammer (42) angeschlossen sind. Die Boosterpumpe (46) beschleunigt und Gas aus der Kammer (42) in die Boosterpumpe (46) eingelassen, so dass der Boosterpumpe (46) vorübergehend eine Übermaßleistung entnommen wird, die über die von dem Antrieb (17) der Boosterpumpe (46) bereitgestellte Leistung hinausgeht. Das Gas wird zum Ausgang der Boosterpumpe (46) gefördert und durch ein Bypass-Ventil (49) abgegeben, solange der Ausgangsdruck der Boosterpumpe (46) oberhalb eines vorgegebenen Schwellwerts liegt. Das Gas wird an die Vorpumpe (47) weitergeleitet, wenn der Ausgangsdruck der Boosterpumpe (46) unterhalb den Schwellwert abgesunken ist. Die Erfindung betrifft außerdem eine Pumpenanordnung zum Durchführen des Verfahrens.