具有樟脑基悬挂官能基之化学式增强高分子及含有该高分子之阻剂组合物

摘要

本发明系关于一种具有一与樟脑基相接之侧基团(pendentgroup)的化学性放大聚合物；其之制备方法；包含该聚合物之光阻组合物。详言之，本发明系关于一种新颖的(甲基)丙烯酸或正莰烯羧酸酯化合物，其系连接了一樟脑基团；制备该化合物的方法；及以该化合物合成之化学放大聚合物；用于ArF之包含该聚合物的光阻组合物，该光阻组合物系具有高解析度及优异的抗蚀刻性。