发明名称 Integrierter Schaltkreis, der FinFETs mit verschiedenen Finnenprofilen umfasst
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung umfasst einen integrierten Schaltkreis. Der integrierte Schaltkreis umfasst ein Substrat, ein erstes FinFET-Bauteil, das von dem Substrat getragen wird und das eine erste Finne mit einem ungestuften Finnenprofil aufweist, und ein zweites FinFET-Bauteil, das von dem Substrat getragen wird und das eine zweite Finne mit einem gestuften Finnenprofil aufweist.</p>
申请公布号 DE102013105074(A1) 申请公布日期 2014.01.02
申请号 DE201310105074 申请日期 2013.05.17
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. 发明人 LIAW, JHON-JHY
分类号 H01L27/088;H01L21/8234;H01L27/11 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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