发明名称 |
Integrierter Schaltkreis, der FinFETs mit verschiedenen Finnenprofilen umfasst |
摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung umfasst einen integrierten Schaltkreis. Der integrierte Schaltkreis umfasst ein Substrat, ein erstes FinFET-Bauteil, das von dem Substrat getragen wird und das eine erste Finne mit einem ungestuften Finnenprofil aufweist, und ein zweites FinFET-Bauteil, das von dem Substrat getragen wird und das eine zweite Finne mit einem gestuften Finnenprofil aufweist.</p> |
申请公布号 |
DE102013105074(A1) |
申请公布日期 |
2014.01.02 |
申请号 |
DE201310105074 |
申请日期 |
2013.05.17 |
申请人 |
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY, LTD. |
发明人 |
LIAW, JHON-JHY |
分类号 |
H01L27/088;H01L21/8234;H01L27/11 |
主分类号 |
H01L27/088 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|