摘要 |
Bereitgestellt werden eine Röntgenstrahlabbildungsvorrichtung und ein Röntgenstrahlabbildungsverfahren, die Transmissionsbilder aus der Detektion durch einen 2D-Detektor an verschiedenen Positionen der Probe zusammenfügen können. Eine Röntgenstrahlabbildungsvorrichtung und ein Röntgenstrahlabbildungsverfahren beinhalten: eine Röntgenstrahlerzeugungseinheit, die ausgelegt ist zum Bestrahlen einer Probe mit einem im Wesentlichen parallelen Röntgenstrahl; einen 2D-Detektor, der einen Detektionsbereich beinhaltet; einen Sockel, in dem eine Stützbasis montiert ist, der ausgelegt ist zum Bewegen der Stützbasis in einer Ebene entlang einer Ebene des Detektionsbereiches; und eine Abbildungssteuer- bzw. Regeleinheit, die ausgelegt ist zum Erzeugen von Zusammenfügungstransmissionsbilddaten auf Grundlage einer Mehrzahl von Transmissionsbildern der Probe aus der Detektion durch den 2D-Detektor. Die Abbildungssteuer- bzw. Regeleinheit ist ausgelegt zum Zusammenfügen der Transmissionsbilder an einer Mehrzahl von wechselseitig verschiedenen Positionen in der Probe, um die Zusammenfügungstransmissionsbilddaten zu erzeugen. |