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<p>Bei einem Verfahren zum Kühlen eines optischen Elements (12, 14) für EUV-Anwendungen wird Wärme von dem optischen Element (12, 14) auf einen Kühlkörper (22) übertragen, und über eine erste Zuleitung (26) wird ein erstes Kühlmedium in einen Kühlkanal (24) in dem Kühlkörper (12) eingeleitet, derart, dass das erste Kühlmedium den Kühlkanal (24) laminar durchströmt und dabei Wärme von dem Kühlkörper (22) aufnimmt. Nach dem Durchströmen des Kühlkanals (24) wird das erste Kühlmedium in eine Ableitung (28) abgeleitet, die von dem optischen Element (12, 14) wegführt. In die Ableitung (28) wird über eine zweite Zuleitung (38) ein zweites Kühlmedium eingeleitet, und das erste Kühlmedium und das zweite Kühlmedium werden stromabwärts der zweiten Zuleitung (38) an einer Stelle, die von dem optischen Element (12, 14) weiter entfernt ist als der Kühlkanal (24), mit einem von extern in die Ableitung (28) eingeleiteten Kraftfeld beaufschlagt, um das erste Kühlmedium und das zweite Kühlmedium miteinander zu vermischen. Des Weiteren wird ein Kühlsystem zur Durchführung des Verfahrens beschrieben.</p> |
