| 摘要 |
一种判断造成半导体机台异常之原因的系统与方法。本发明系使用诊断规则，来逐一检查电脑整合制造(Computer Integrated Manufacture；CIM)系统之子系统(Sub–systems)的资料，并对应关联至异常根本原因(Root–Causes)，以针对半导体机台之异常状态产生诊断结果。本发明更具有自学(Self–learning)机制，藉以将使用者针对诊断结果所产生的判定意见，自动整合成诊断规则，并提供每一个诊断结果一个参考比重值，让使用者得以认知每一个诊断结果的重要程度。 |
