发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 本发明揭示一种半导体装置,包含:一基底;一第一区域,其设置在该基底上,并且包含一含有一相对介电常数最多为3.0之绝缘层的第一绝缘部分和一设置在该第一绝缘部分中的导电部分;一第二区域,其设置在基底之,并且以平行该基底主要表面的方向定位以邻接该第一区域,该第二区域包含一第二绝缘部分,该第二绝缘部分以相同方向定位以邻接该第一绝缘部分,且该第二绝缘部分不含有相对介电常数最多为3.0之绝缘层;及一垫层,其一设置在该第二区域上,并且电气连接到导电部分。
申请公布号 TW200423190 申请公布日期 2004.11.01
申请号 TW092101241 申请日期 2003.01.21
申请人 东芝股份有限公司 发明人 饭岛 匡
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本