微影装置及元件制造方法

摘要

一种微影投影装置中，一液体供给系统维持液体于投影系统之最终元件与微影投影装置之基板之间之一空间内。一快门构件提供用于代替基板，以利于基板更换期间容纳液体供给系统内之液体。