曝光系统及方法

摘要

一种曝光系统，包括一补偿单元与一曝光装置。补偿单元接收相应至少一种机台参数之调整值，依据调整值与对应此机台参数之调整公式对于相应之对准参数进行补偿。曝光装置使用补值后之对准参数对于晶圆进行对准与曝光作业。