ANTRIEBS- UND KOMPENSATIONSSCHALTUNG FÜR KAPAZITIVE MEMS-STRUKTUREN

摘要

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Schaltung zum Ansteuern einer kapazitiven MEMS-Struktur mit mindestens einem zu einer Schwingbewegung anregbaren Schwingerelement und einer elektrostatischen Anregungseinheit, die mindestens einen ersten und einen zweiten Eingangsanschluss besitzt. Die Schaltung umfasst einen Hochspannungsgenerator zum Erzeugen einer Hochspannung aus einer Versorgungsspannung, wobei der Hochspannungsgenerator mit den beiden Eingangsanschlüssen verbindbar ist. Mindestens ein erster und ein zweiter Pumpkondensator lädt die elektrostatische Anregungseinheit auf, wobei ein erster Anschluss des ersten Pumpkondensators mit dem Hochspannungsgenerator verbunden ist und mit dem ersten Eingangsanschluss verbindbar ist, und ein erster Anschluss des zweiten Pumpkondensators mit dem Hochspannungsgenerator verbunden ist und mit dem zweiten Eingangsanschluss verbindbar ist. Eine Steuereinheit ist zum Aufprägen eines Wechselsignals mit zweiten Anschlüssen eines jeden Pumpkondensators verbunden und mindestens ein Niederspannungsoperationsverstärker erzeugt einen Korrekturanteil des Wechselsignals in Abhängigkeit von einer aktuellen Position des Schwingerelements oder von einer anderen Stellgröße.