发明名称 Gruppe III-Nitrid-Transistor unter Verwendung einer wiederaufgewachsenen Struktur
摘要 Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung beschreiben Anlagen, Verfahren und Systeme einer integrierten Schaltungsvorrichtung (IC-Vorrichtung). Die IC-Vorrichtung kann eine auf einem Substrat angeordnete Pufferschicht, wobei die Pufferschicht Gallium (Ga) und Stickstoff (N) aufweist, eine auf der Pufferschicht angeordnete Sperrschicht, wobei die Sperrschicht Aluminium (Al) und Stickstoff (N) aufweist, eine in der Sperrschicht angeordnete und epitaktisch mit der Sperrschicht gekoppelte wiederaufgewachsene Struktur, wobei die wiederaufgewachsene Struktur Stickstoff (N) und ferner Aluminium (Al) und/oder Gallium (Ga) aufweist und bei einer Temperatur von weniger als oder gleich 600°C epitaktisch aufgebracht ist, und ein in der Sperrschicht angeordnetes Gate-Terminal aufweisen, wobei die wiederaufgewachsene Struktur zwischen dem Gate-Terminal und der Pufferschicht angeordnet ist. Andere Ausführungsformen können beschrieben und/oder beansprucht sein.
申请公布号 DE102013010487(A1) 申请公布日期 2014.01.02
申请号 DE20131010487 申请日期 2013.06.24
申请人 TRIQUINT SEMICONDUCTOR, INC. 发明人 SAUNIER, PAUL;BEAM III, EDWARD A.
分类号 H01L29/778;H01L21/336 主分类号 H01L29/778
代理机构 代理人
主权项
地址