Verfahren zur Herstellung eines tribologisch belasteten Schichtverbunds, Schichtverbund und Verwendung einer metallorganischen Verbindung zur Herstellung einer Funktionsschicht des Schichtverbunds

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines tribologisch belasteten Schichtverbunds mit einem Substrat und einer aus wolframhaltigem, amorphem diamantähnlichen Kohlenstoff gebildeten Funktionsschicht. Um derartige Funktionsschichten einfach herstellen zu können, wird diese mittels eines wolframhaltigen Precursors unter Verwendung eines PACVD-Verfahrens aufgebracht. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Schichtverband mit einer mittels eines Precursors hergestellten Funktionsschicht und die Verwendung einer metallorganischen Verbindung als Precursor zur Herstellung einer Funktionsschicht.