Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Solarzelle mit durch Laser strukturierter Metallschicht

摘要

Es wird ein Verfahren zum Herstellen einer Solarzelle sowie eine Vorrichtung zum Herstellen einer Metallstruktur auf einem Solarzellensubstrat sowie eine entsprechend hergestellte Solarzelle beschrieben. Bei dem Verfahren wird auf einem Solarzellensubstrat (27) eine dünne Metallschicht (29) mit einer Dicke von weniger als 5μm, vorzugsweise weniger als 0,5μm, abgeschieden. Anschließend werden vorzugsweise mithilfe eines durch Überlagerung von zwei Laserstrahlen erzeugten Interferenzmusters (25) Belichtungsteilflächen (33) der Metallschicht (29) derart intensiv beleuchtet, dass zwar kein Metall verdampft, aber die Metallschicht (29) kurzzeitig lokal über ihre gesamte Dicke aufschmilzt, wohingegen angrenzende Stegteilflächen (35) schwächer oder gar nicht belichtet werden und somit nicht aufschmelzen. In der lokal aufgeschmolzenen Metallschicht kann es durch Oberflächenspannungen zu Entnetzungseffekten kommen, so dass sich das Metall verlagert und freiliegende Oberflächenbereiche (37) an dem Solarzellensubstrat (27) entstehen. Das verlagerte Metall hilft dabei, die Dicke von Stegen (39) zu erhöhen. Diese Stege (39) können sowohl als Metallkontakte oder Saatschichten für solche Metallkontakte als auch als Ätzmaske oder zur feinen reflexionsmindernden Oberflächentexturierung bei der Herstellung der Solarzelle verwendet werden.