发明名称 光源装置以及使用其之曝光装置
摘要
申请公布号 TWI421643 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW096130174 申请日期 2007.08.15
申请人 凤凰电机股份有限公司 日本 发明人 白井哲也;清木芳彦;中川敦二
分类号 G03F7/20;F21V7/00;F21V17/00;F21Y101/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本