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经营范围
发明名称
光源装置以及使用其之曝光装置
摘要
申请公布号
TWI421643
申请公布日期
2014.01.01
申请号
TW096130174
申请日期
2007.08.15
申请人
凤凰电机股份有限公司 日本
发明人
白井哲也;清木芳彦;中川敦二
分类号
G03F7/20;F21V7/00;F21V17/00;F21Y101/00
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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