| 发明名称 |
利用电浆增强化学气相沉积来沉积共形无定形碳膜层的方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI421364 |
申请公布日期 |
2014.01.01 |
| 申请号 |
TW098134833 |
申请日期 |
2009.10.14 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 美国 |
发明人 |
李光德道格拉斯;盛井贵司;铃木洋;拉提苏哈;西蒙斯马丁杰;帕奇迪尼斯;金柏涵;帕当贾南辛西亚 |
| 分类号 |
C23C16/24 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
