发明名称 ITO溅镀靶及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI421357 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW100117725 申请日期 2011.05.20
申请人 三井金属鑛业股份有限公司 日本 发明人 真崎贵则
分类号 C23C14/08;C23C14/34;C04B35/64 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项
地址 日本