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发明名称 抛光半导体晶圆的方法
摘要
申请公布号 TWI421934 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW099134364 申请日期 2010.10.08
申请人 世创电子材料公司 德国 发明人 史却汪德纳　尤尔根;巴士察哈德　汤玛士;寇伯特　罗兰
分类号 H01L21/304;B24B37/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 陈翠华 台北市松山区南京东路3段261号6楼
主权项
地址 德国
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