发明名称 雷射加工方法与雷射加工装置以及太阳能电池板制造方法
摘要
申请公布号 TWI421141 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW099144050 申请日期 2010.12.15
申请人 日立高科技股份有限公司 日本 发明人 下田勇一;丸山诚;小泉光义
分类号 B23K26/08;H01L31/04;H01L31/18 主分类号 B23K26/08
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 日本