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发明名称 在使用快速离子束控制的固定束离子柨植制程中的故障回复的方法与及装置
摘要
申请公布号 TWI421915 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW095111737 申请日期 2006.04.03
申请人 瓦里安半导体设备公司 美国 发明人 罗　拉塞尔Ｊ. LOW, RUSSELL J. GB;欧尔森　约瑟Ｃ. OLSON, JOSEPH C. US;汀布莱克　大卫Ｒ. TIMBERLAKE, DAVID R. US;麦克廉　詹姆斯Ｒ. MCLANE, JAMES R. US;邵德尔　马克Ｄ. SAUNDERS, MARK D. US;康米斯　詹姆斯Ｊ. CUMMINGS, JAMES J. US;卡拉汉　汤玛斯Ｂ. CALLAHAN, THOMAS B. US;英格兰　乔纳森
分类号 H01L21/265;H01J37/30 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 美国
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