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发明名称 含有微定位系统之快速热处理腔室与处理基材之方法
摘要
申请公布号 TWI421945 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW098137624 申请日期 2009.11.05
申请人 应用材料股份有限公司 美国 发明人 索拉基库谢;拉尼思乔瑟分Ｍ;亚德霍德沃夫刚;杭特亚伦Ｍ;克麦尔布拉克Ｒ;雷奈亚历山大Ｎ;马利尼尔
分类号 H01L21/324;H01L21/68 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址 美国
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