发明名称 基板传送装置
摘要
申请公布号 TWI421967 申请公布日期 2014.01.01
申请号 TW098139695 申请日期 2009.11.23
申请人 SFA工程股份有限公司 南韩 发明人 李京南;张宰植;朴纯弼
分类号 H01L21/677;B65G49/07 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 陈翠华 台北市松山区南京东路3段261号6楼
主权项
地址 南韩