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经营范围
发明名称
基板传送装置
摘要
申请公布号
TWI421967
申请公布日期
2014.01.01
申请号
TW098139695
申请日期
2009.11.23
申请人
SFA工程股份有限公司 南韩
发明人
李京南;张宰植;朴纯弼
分类号
H01L21/677;B65G49/07
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
陈翠华 台北市松山区南京东路3段261号6楼
主权项
地址
南韩
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