发明名称 在PET 上的聚合物基质的选择性蚀刻
摘要 本发明涉及一种选择性蚀刻以及高分辨率地图案化柔性聚合物基质的方法,所述聚合物基质可包含Ag纳米管。
申请公布号 CN103492947A 申请公布日期 2014.01.01
申请号 CN201280018494.5 申请日期 2012.03.28
申请人 默克专利股份有限公司 发明人 A·梅热尔;W·斯托库姆;I·科勒
分类号 G03F7/00(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F7/00(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 冯奕
主权项 选择性蚀刻具有Ag纳米管的聚合物基质的方法,包含下列步骤:a)将碱性蚀刻糊施加到塑料基材上,b)加热,以及c)清洁所述基材。
地址 德国达姆施塔特