氪氙原料气中氪气和氙气含量的分析方法

摘要

本发明涉及一种氪氙原料气中氪气和氙气含量的分析方法，解决了现有氪氙原料气中氪气和氙气含量分析不准确的问题。本发明以型热导分析仪作为母体，采用毛细管色谱柱进行测定，以氦气作为载气，使用微型热导分析仪测定氪氙原料气中氪气和氙气的峰面积，然后计算氪气和氙气体积含量。本发明能够准确测定氪氙原料气中氪气和氙气这些主要组分的含量，能够满足氪气、氙气生产前期对原料气质量进行选择的要求，检测快速准确，偏差率远小于3%，检测时间可缩短至50秒以内。

主权项

1.一种氪氙原料气中氪气和氙气含量的分析方法，其特征在于，按照下述分析方法进行：1）制备含氙气体积含量为100×10^-6,氪气气体积含量为1000×10^-6，甲烷气体积含量为1000×10^-6的8L标准气一瓶,其余为氦气；2）以微型热导分析仪作为母体，采用毛细管色谱柱进行测定；3）以氦气作为载气，使用微型热导分析仪分别测定步骤1）的标准气中氪气和氙气的K_氪气和K_氙气,其中，4）对氪氙原料气进行测定，a、以氦气作为载气，使用微型热导分析仪测定氪氙原料气中氪气和氙气的峰面积s_氪气；s_氙气。b、计算氪气和氙气体积含量，其计算公式：V_氪气=s_氪气×K_氪气；V_氙气=s_氙气×K_氙气；