发明名称 |
层叠体的制造方法 |
摘要 |
本发明提供可获得耐候性、气体阻隔性和层间密合性的长期稳定性良好的层叠体的制造方法。所述层叠体的制造方法是制造在含有氟树脂的基材板的至少单面上直接层叠有气体阻隔膜的层叠体的方法,其特征在于,所述气体阻隔膜采用由选自氧、氮和碳的至少1种与硅或铝构成的无机化合物作为主成分;通过频率为27.12MHz的高频等离子体化学蒸镀法在所述基材板上形成所述气体阻隔膜。 |
申请公布号 |
CN103492182A |
申请公布日期 |
2014.01.01 |
申请号 |
CN201280020385.7 |
申请日期 |
2012.04.17 |
申请人 |
旭硝子株式会社 |
发明人 |
木原直人;中尾卓也 |
分类号 |
B32B27/30(2006.01)I;B32B9/00(2006.01)I;H01L31/049(2014.01)I |
主分类号 |
B32B27/30(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
侯莉 |
主权项 |
层叠体的制造方法,它是制造在含有氟树脂的基材板的至少单面上直接层叠有气体阻隔膜的层叠体的方法,其特征在于,所述气体阻隔膜采用由选自氧、氮和碳的至少1种与硅或铝构成的无机化合物作为主成分;通过频率为27.12MHz的高频等离子体化学蒸镀法在所述基材板上形成所述气体阻隔膜。 |
地址 |
日本东京 |