吸引卡盘、以及具备该吸引卡盘的工件的移载装置

摘要

本发明提供一种轻型并且在吸附时与放下时薄板工件不与卡盘的边缘接触的吸引卡盘。本发明的一个实施方式的吸引卡盘（10）具备平板状的主体（11）和对置面（31）。在主体（11）的内部形成有压缩空气的流路。对置面（31）是主体（11）在与工件（90）对置的一侧所具备的面，且形成有多个通过喷出压缩空气而产生负压的作为吸引元件的凹部（41）。在与对置面（31）垂直的方向观察时，该对置面（31）构成为与工件（90）相似的形状（或者比工件（90）的形状向外侧偏移的形状），以便能够完全包含工件（90）的形状。在与对置面（31）垂直的方向观察时，全部的凹部（41）以能够包含于工件（90）的形状的方式配置。

主权项

一种吸引卡盘，其吸引薄的平板状的工件并以非接触状态保持该工件，该吸引卡盘的特征在于，具备：平板状的主体，在该主体的内部形成有压缩气体的流路；和对置面，该对置面是所述主体在与所述工件对置的一侧所具备的面，且形成有多个通过喷出所述压缩气体而产生负压的作为吸引元件的凹部，在与所述对置面垂直的方向观察时，该对置面以能够完全地包含所述工件的形状的方式构成为与所述工件相似的形状或者比所述工件的形状向外侧偏移的形状，在与所述对置面垂直的方向观察时，全部的所述凹部都以能够包含于所述工件的形状的方式配置。