| 发明名称 | 一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法，包括:衬底预备;光刻形成惰性电极图形;电子束蒸发惰性电极金属;剥离形成惰性电极;套刻形成活性电极图形;电子束蒸发活性电极金属;剥离形成两端电极平面器件;以及在电场激励下形成银金属纳米颗粒。利用本发明，通过电化学反应的方法，调整电场激励过程中的电流值，可以获得不同尺寸的金属纳米颗粒，并且在不同的衬底材料上金属纳米颗粒的分布也不同，既可以获得链状排布的金属纳米颗粒又可以获得面分布的金属颗粒，实现极小尺寸金属纳米颗粒，流程简单，可控性较强，所形成的金属纳米颗粒不受化学试剂的污染与影响。 | ||
| 申请公布号 | CN103489754A | 申请公布日期 | 2014.01.01 |
| 申请号 | CN201310454566.7 | 申请日期 | 2013.09.29 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 孙海涛;杨洪璋;路程;刘琦;吕杭炳;龙世兵;谢常青;刘明 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 任岩 |
| 主权项 | 一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法，其特征在于，包括:衬底预备;光刻形成惰性电极图形;电子束蒸发惰性电极金属;剥离形成惰性电极;套刻形成活性电极图形;电子束蒸发活性电极金属;剥离形成两端电极平面器件;以及在电场激励下形成银金属纳米颗粒。 | ||
| 地址 | 100083 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||