发明名称 一种SiCN陶瓷无线无源温度传感器及其制备方法
摘要 一种SiCN陶瓷无线无源温度传感器及其制备方法,涉及温度传感器。所述温度传感器设有圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件,在圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件的表面设有耐高温金属层并形成谐振腔,在谐振腔表面设有槽天线。1)制备圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件;(1)先制备SiCN陶瓷素胚;(2)在惰性气体保护下,将SiCN陶瓷素胚热解,再退火处理后,得温敏元件SiCN非晶陶瓷体;2)在温敏元件SiCN非晶陶瓷体上表面的槽天线区域用聚酰亚胺胶带保护,在温敏元件SiCN非晶陶瓷体表面镀金属层,再将聚酰亚胺胶带去除后,所留区域即为收发电磁波信号的槽天线,得圆柱形SiCN陶瓷无线无源温度传感器。
申请公布号 CN103487155A 申请公布日期 2014.01.01
申请号 CN201310416802.6 申请日期 2013.09.13
申请人 厦门大学 发明人 余煜玺;李燕;伞海生
分类号 G01K7/00(2006.01)I;C04B35/58(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I 主分类号 G01K7/00(2006.01)I
代理机构 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 代理人 马应森
主权项 一种SiCN陶瓷无线无源温度传感器,其特征在于设有圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件,在圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件的表面设有耐高温金属层并形成谐振腔,在谐振腔表面设有槽天线。
地址 361005 福建省厦门市思明南路422号