发明名称 |
一种SiCN陶瓷无线无源温度传感器及其制备方法 |
摘要 |
一种SiCN陶瓷无线无源温度传感器及其制备方法,涉及温度传感器。所述温度传感器设有圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件,在圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件的表面设有耐高温金属层并形成谐振腔,在谐振腔表面设有槽天线。1)制备圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件;(1)先制备SiCN陶瓷素胚;(2)在惰性气体保护下,将SiCN陶瓷素胚热解,再退火处理后,得温敏元件SiCN非晶陶瓷体;2)在温敏元件SiCN非晶陶瓷体上表面的槽天线区域用聚酰亚胺胶带保护,在温敏元件SiCN非晶陶瓷体表面镀金属层,再将聚酰亚胺胶带去除后,所留区域即为收发电磁波信号的槽天线,得圆柱形SiCN陶瓷无线无源温度传感器。 |
申请公布号 |
CN103487155A |
申请公布日期 |
2014.01.01 |
申请号 |
CN201310416802.6 |
申请日期 |
2013.09.13 |
申请人 |
厦门大学 |
发明人 |
余煜玺;李燕;伞海生 |
分类号 |
G01K7/00(2006.01)I;C04B35/58(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I |
主分类号 |
G01K7/00(2006.01)I |
代理机构 |
厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 |
代理人 |
马应森 |
主权项 |
一种SiCN陶瓷无线无源温度传感器,其特征在于设有圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件,在圆柱形SiCN非晶态陶瓷温敏元件的表面设有耐高温金属层并形成谐振腔,在谐振腔表面设有槽天线。 |
地址 |
361005 福建省厦门市思明南路422号 |