| 发明名称 | 一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器，该传感器包括衬底（1），覆盖有感湿介质（2）的叉指正电极（1-2）；其中，衬底（1）位于检测电容的底部，起基座作用，感湿介质（2）覆盖在叉指正电极（1-2）、叉指负电极（1-3）的表面，叉指负电极（1-3）与衬底（1）之间设有空腔（1-5），感湿介质（2）与叉指电极（1-2）、（1-3）之间的空气层（3）构成检测电容的感湿结构；所述检测电容呈叉指悬臂梁结构。本发明提供的电容式湿度传感器具有灵敏度高，响应快，结构简单，加工方便，寄生电容小等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN103487474A | 申请公布日期 | 2014.01.01 |
| 申请号 | CN201310461445.5 | 申请日期 | 2013.09.30 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 任青颖;王立峰;黄见秋;黄庆安 |
| 分类号 | G01N27/22(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人 | 杨晓玲 |
| 主权项 | 一种具有高灵敏度快速响应的MEMS电容式湿度传感器，其特征在于，该传感器包括衬底（1），覆盖有感湿介质（2）的叉指正电极（1‑2）；其中，衬底（1）位于检测电容的底部，起基座作用，感湿介质（2）覆盖在叉指正电极（1‑2）、叉指负电极（1‑3）的表面，叉指负电极（1‑3）与衬底（1）之间设有空腔（1‑5），感湿介质（2）与叉指正电极（1‑2）、叉指负电极（1‑3）之间的空气层（3）构成检测电容的感湿结构。 | ||
| 地址 | 211103 江苏省南京市江宁区润发路5号 | ||