基于高阶奇异值分解的硅料熔化进程监测方法

摘要

基于高阶奇异值分解的硅料溶化进程监测方法，先采用CCD照相机对硅料熔化过程进行实时的图像序列采集；用当前时刻之前的若干二维图像序列构成三维张量（tensor），对该张量进行高阶奇异值分解（HOSVD）得到用于表征之前熔化状态的基图像（Base Images）；然后，对当前硅料熔化所采集的图像与包含主要信息的基图像进行相关性计算，依据相关性的大小判定硅料溶化状态是否改变。本发明监测方法既能在初、中期硅料熔化状态背景较复杂的情况下检测出硅料的状态变化，又能在熔化后期很好区别硅料熔化状态的变化与熔液运动的噪声，实现了对硅料熔化进程的准确、有效监测。

主权项

基于高阶奇异值分解的硅料溶化进程监测方法，其特征在于，先采用CCD照相机对硅料熔化过程进行实时的图像序列采集；用当前时刻之前的若干二维图像序列构成三维张量，对该张量进行高阶奇异值分解得到用于表征之前熔化状态的基图像；然后，对当前硅料熔化所采集的图像与包含主要信息的基图像进行相关性计算，依据相关性的大小判定硅料溶化状态是否改变。