一种石英坩埚及其制造方法

摘要

本发明公开了一种石英坩埚及其制造方法，在普通石英坩埚本体内表面涂覆一层高纯石英砂涂层，在普通石英坩埚本体与多晶硅锭晶体之间起一定屏蔽作用，降低普通石英坩埚本体中的金属杂质向多晶铸锭晶体扩散的速度，进而达到降低多晶铸锭晶体中金属杂质含量，从而提高非平衡少数载流子寿命的目的。基于本发明制作出来合格的多晶硅锭晶体中底面和侧面不合格的部分明显降低，提高了使用率，降低生产成本。

主权项

一种石英坩埚，其特征在于：包括普通石英坩埚本体，所述普通石英坩埚本体的内表面涂有石英砂纯度大于99.99%且铁浓度低于3PPM的高纯石英砂涂层。