高速光子晶体波导太赫兹调制器

摘要

本发明公开了一种高速光子晶体波导太赫兹调制器。在有线缺陷波导的硅光子晶体柱阵列表面镀上一层二氧化钒薄膜，在室温下无激光辐照时二氧化钒薄膜为介质相，器件表现出介质光子晶体波导的带隙性质；而当有激光辐照光子晶体柱表面时，二氧化钒薄膜发生相变，器件表现为金属光子晶体波导的带隙性质。由于同一结构的介质和金属光子晶体波导的导带是完全不同的，可以实现光控高速宽带太赫兹强度调制和频率调制。该太赫兹调制器调制带宽大，超过100GHz；调制方式灵活多样，可实现多工作窗口强度调制和频率调制；调制深度超过90％；响应时间短，调制速率达10Gbps；结构和调制方法简单，便于小型化和集成化，满足太赫兹通信系统的要求。

主权项

一种高速光子晶体波导太赫兹调制器，其特征在于包括硅光子晶体柱阵列(1)、二氧化钒薄膜(2)、线缺陷(3)、硅基底(4)、太赫兹源(5)、泵浦激光源(6)，其中硅光子晶体柱阵列(1)和线缺陷(3)形成光子晶体波导(7)，二氧化钒薄膜(2)镀在硅光子晶体柱阵列(1)表面。