一种多晶硅生产尾气的回收装置

摘要

本实用新型涉及一种尾气回收技术领域，特别是涉及一种多晶硅生产尾气的回收装置，包括冷凝装置、储罐、回收塔和循环池，冷凝装置由第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器组成，所述四个冷凝器的入口分别于尾气出口相连通，所述第一冷凝器和第二冷凝器的出口与第一储罐连接，第三冷凝器和第四冷凝器的出口与第二储罐相连接，所述第一储罐和第二储罐分别通过电磁阀与回收塔的进口相连，回收塔的出口与循环池相连，所述回收塔的洗涤液进口管路连接循环池的洗涤液出口，回收塔的洗涤液出口管路连接循环池的洗涤液进口；本实用新型能够有效的避免多晶硅生产尾气污染环境，而且能够对尾气中的有效成分进行回收利用，节省资源和开支。

主权项

一种多晶硅生产尾气的回收装置，包括冷凝装置、储罐、回收塔和循环池，其特征在于：冷凝装置由第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器组成，所述四个冷凝器的入口分别于尾气出口相连通，所述第一冷凝器和第二冷凝器的出口与第一储罐连接，第三冷凝器和第四冷凝器的出口与第二储罐相连接，所述第一储罐和第二储罐分别通过电磁阀与回收塔的进口相连，回收塔的出口与循环池相连，所述回收塔的洗涤液进口管路连接循环池的洗涤液出口，回收塔的洗涤液出口管路连接循环池的洗涤液进口。