一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的轴向温度梯度可调的保温结构

摘要

本实用新型提供了一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的轴向温度梯度可调的保温结构，设置于不锈钢桶内，采用以钨或钼为材料的金属薄板作热屏，热屏包括水平式热屏，倾斜式热屏和垂直式热屏；各屏之间缝隙用钼条垂直间隔支撑；不锈钢桶与垂直式热屏之间通过钼片间隔有用于填充空心泡壳的内层填充区和外层填充区，所述内层填充区填充有ZrO2空心泡壳，且内层填充区填充满；上述外层填充区填充的空心泡壳为ZrO2空心泡壳或Al2O3空心泡壳。本实用新型通过调节外层填充区高度来调节炉内轴向的温度梯度分布，调节生长晶体的回熔区位置和范围，使晶体表面温度分布更加平缓，降低了由于热应力过高而导致晶体开裂的概率，从而促进晶体生长过程中凸的液固界面的形成，提高晶体质量。

主权项

一种应用于泡生法蓝宝石单晶生长的轴向温度梯度可调的保温结构，设置于不锈钢桶内，其特征是：采用以钨或钼为材料的金属薄板作热屏，所述热屏包括水平式热屏，倾斜式热屏和可容纳水平式热屏和倾斜式热屏的垂直式热屏；在水平式热屏、倾斜式热屏以及垂直式热屏之间缝隙用钼条垂直间隔支撑；所述不锈钢桶与垂直式热屏之间通过钼片间隔有用于填充空心泡壳的内层填充区和外层填充区，所述内层填充区填充有ZrO2空心泡壳，所述ZrO2空心泡壳的粒径为2‑3mm，且内层填充区填充满；上述外层填充区填充的空心泡壳为ZrO2空心泡壳或Al2O3空心泡壳，其粒径为1‑2mm，通过调节外层填充区高度来调节炉内轴向的温度梯度分布，调节生长晶体的回熔区位置和范围。