一种基于自激振动原理的微结构疲劳试验装置

摘要

一种基于自激振动原理的微结构疲劳试验装置，包括：一个绝缘支撑基座，一个微试件，两个直流驱动电极，一个衬底，其中：绝缘支撑基座不与任何电极相连，也不接地，处于电势浮动状态；微试件的一端固定在上述绝缘支撑基座上，另一端为水平悬空状；两个直流驱动电极保持一定间距，置于微试件两侧并与微试件平行，其中一个电极接入直流正电压，另一个电极接入直流负电压；衬底上固定有所述的绝缘支撑基座和直流驱动电极。本发明结构简单，不存在夹持和对中困难的问题；无需在微试件上预制缺口或将微试件置于真空环境中，就能够提供足够大的低周疲劳试验载荷；能够以较低成本同时进行多个微试件的疲劳试验，并方便地记录载荷循环数。

主权项

一种基于自激振动原理的微结构疲劳试验装置，包括：一个绝缘支撑基座，一个微试件，两个直流驱动电极，一个衬底，其特征在于：所述的绝缘支撑基座不与任何电极相连，也不接地，处于电势浮动状态；所述的微试件是导电的，其一端固定在上述绝缘支撑基座上，另一端为水平悬空状；所述的两个直流驱动电极保持一定间距，置于微试件两侧并与微试件平行，其中一个电极接入直流正电压，另一个电极接入直流负电压；所述的衬底上固定有前述的绝缘支撑基座和直流驱动电极。