发明名称 NOUVEAUX PRECURSEURS POROGENES ET COUCHES DIELECTRIQUES POREUSES OBTENUES A PARTIR DE CEUX-CI
摘要 L'invention concerne des précurseurs porogènes ainsi que des couches poreuses de matériaux diélectriques obtenues à partir de ces précurseurs porogènes et de précurseurs matrices.Selon l'invention, les précurseurs porogènes utilisés sont choisis parmi les molécules de myrtenol, ethyl chrysanthemate, jasmone, trimethylbenzene, leurs isomères de position et leurs dérivés substitués ou hydrogénés.La constante diélectrique de la couche obtenue est inférieure ou égale à 2,5 ,en partant de précurseurs matrices de constante diélectrique inférieure ou égale à 4.
申请公布号 FR2904728(A1) 申请公布日期 2008.02.08
申请号 FR20060053228 申请日期 2006.08.01
申请人 L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 VAUTIER MANON;SANDRE ETIENNE
分类号 H01L21/312;C07C15/04;C07C35/28;C07C49/597;C07C69/747;H01L21/768 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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