| 发明名称 | 用于固化电介质膜的多步系统和方法 | ||
| 摘要 | 一种用于使电介质膜固化的多步系统和方法，其中该系统包括被配置成用于减少电介质膜中的污染物(例如水分)的量的干燥系统。该系统还包括与干燥系统耦合的固化系统，该固化系统被配置成通过紫外(UV)辐射和红外(IR)辐射处理电介质膜来固化该电介质膜。 | ||
| 申请公布号 | CN103489813A | 申请公布日期 | 2014.01.01 |
| 申请号 | CN201310341426.9 | 申请日期 | 2006.10.06 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 刘俊军;埃里克·M·李;多雷尔·L·托玛 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 康建峰;贾萌 |
| 主权项 | 一种处理衬底上的电介质膜的方法，包括：通过下述处理固化所述衬底上的所述电介质膜：将所述电介质膜暴露于红外(IR)辐射，所述红外辐射包括窄波段辐射；和将所述电介质膜暴露于紫外(UV)辐射。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||