基片架回转装置

摘要

本实用新型给出了一种基片架回转装置，包括支架上设置有竖直放置的滑槽通道，滑槽通道由上轨道和下轨道构成，支架前、后两个端面上分别设置有滑槽通道，支架下端面的中心竖直方向固定连接有转动轴，转动轴套接在底座内并与底座转动配合。利用支架前、后两个端面以转动轴的轴线所在的平面对称，基片架从生产线中流出后，进入支架前端面或者后端面的滑槽通道中，待基片架完全进入滑槽通道后，转动轴旋转180°时，支架前、后两个端面互换位置，带动在支架端面的基片架完成纵向和自转两步操作。该装置结构简单、操作方便，而且利用支架平稳的转动，降低因基片架在移动过程中的振动，并且不影响其他基片架从生产线中流出，大大提高了生产的效率。

主权项

基片架回转装置，包括支架上设置有竖直放置的滑槽通道，滑槽通道由上轨道和下轨道构成，其特征在于：支架前、后两个端面上分别设置有滑槽通道，支架下端面的中心竖直方向固定连接有转动轴，转动轴套接在底座内并与底座转动配合。