原料的汽化供给装置

摘要

本发明是不管是固体原料还是液体原料，都能够正确地调整载体气体与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且在高精度的流量控制下向处理腔稳定地进行供给，并且能够容易地进行过原料的余量管理的汽化供给装置，包括下列部分构成：流路(L1)，其将来自载体气体供给源的载体气体向源储罐的内部上方空间部供给；自动压力调整装置，其间置于该流路(L1)，将源储罐的内部上方空间部的压力控制为设定压力；流路(L2)，其向处理腔供给在所述空间部生成的原料蒸汽与载体气体的混合气体；流量控制装置，其间置于该流路(L2)，将混合气体的流量自动调整为设定流量；以及恒温加热部，其将源储罐和流路(L1)以及流路(L2)加热为设定温度，该汽化供给装置为将所述空间部的内压控制为所期望的压力，并且向处理腔供给混合气体的构成。

主权项

一种原料的汽化供给装置，其特征在于，包括下列部分：载体气体供给源；源储罐，其储集原料；流路L1，其将来自载体气体供给源的载体气体G1向所述源储罐的内部上方空间部供给；自动压力调整装置，其间置于该流路L1，将所述源储罐的内部上方空间部的压力控制为设定压力；流路L2，其从所述源储罐的内部上方空间部将作为由原料生成的原料蒸汽与载体气体的混合体的混合气体G0向处理腔供给；流量控制装置，其间置于该流路L2，将向处理腔供给的混合气体G0的流量自动调整为设定流量；以及恒温加热部，其将所述源储罐和流路L1以及流路L2加热为设定温度，所述原料的汽化供给装置为将源储罐的内部上方空间部的内压控制为所期望的压力，并且向处理腔供给混合气体G0的构成。