发明名称 |
感光性树脂组成物、其层合物、其硬化物及使用该组成物之图型的形成方法(4) PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, LAMINATE COMPRISING THE SAME, CURED PRODUCT OF THE SAME AND METHOD FOR FORMING PATTERN USING THE SAME (4) |
摘要 |
本发明系提供可形成高解析性、高长宽比的图型,且高感度之感光性树脂组成物;其为含有参(五氟乙基)三氟磷酸之光致阳离子聚合起始剂(A)、与主链结构上具有脂环结构且环氧基为3个以上之多官能环氧化合物(B)之感光性树脂组成物。 |
申请公布号 |
TW200813626 |
申请公布日期 |
2008.03.16 |
申请号 |
TW096125746 |
申请日期 |
2007.07.13 |
申请人 |
化药股份有限公司 |
发明人 |
河野刚;本田那央 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01);C07C381/12(2006.01);C08G59/32(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
主权项 |
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地址 |
日本 |