发明名称 感光性树脂组成物、其层合物、其硬化物及使用该组成物之图型的形成方法(4) PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, LAMINATE COMPRISING THE SAME, CURED PRODUCT OF THE SAME AND METHOD FOR FORMING PATTERN USING THE SAME (4)
摘要 本发明系提供可形成高解析性、高长宽比的图型,且高感度之感光性树脂组成物;其为含有参(五氟乙基)三氟磷酸之光致阳离子聚合起始剂(A)、与主链结构上具有脂环结构且环氧基为3个以上之多官能环氧化合物(B)之感光性树脂组成物。
申请公布号 TW200813626 申请公布日期 2008.03.16
申请号 TW096125746 申请日期 2007.07.13
申请人 化药股份有限公司 发明人 河野刚;本田那央
分类号 G03F7/004(2006.01);C07C381/12(2006.01);C08G59/32(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/004(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本