光阻用溶剂及使用它之狭缝涂布用组成物

摘要

本发明提供一种在不减少固体成分含量下，于狭缝涂布中可高速涂布的光阻用溶剂，以及可藉由狭缝涂布高速涂布的光阻组成物。一种光阻用溶剂，系藉由狭缝涂布法涂布于基板上的光阻组成物所用的光阻用溶剂，其特征为以该溶剂的重量为基准，10重量%以上系于20℃的黏度为1.1 cp以下的低黏度溶剂；及一种光阻组成物，包括上述光阻用溶剂、硷可溶性树脂及感光性物质。