具有同时多波长、多入射角及多方位角之光学量测系统

摘要

本发明揭示了一种光学测量及／或检测装置，在一种应用中，其可被用于半导体装置的检测。其包括：一光源，用以提供入射光线；一半抛物面形反射器，具有一内反射面，其中，反射器具有一焦点及一对称轴，且待测部件被配置在焦点附近。进入与反射器之对称轴平行的光线会被导向焦点且反射离开该待测部件并产生表示该待测部件的资讯，然后反射的光线离去该反射器。一检测器阵列接收离去的光线且光线可被分析以确定待测部件的特征。