一种Pt电阻温度传感器的制造方法

摘要

本发明公开了一种Pt电阻温度传感器的制造方法，包括以下步骤：1）在陶瓷衬底上涂覆SU-8光刻胶，光刻出微结构图形；2）在光刻完成的陶瓷基片上用磁控溅射的方法沉积Pt金属；3）将上述得到的陶瓷基片在O2气氛中烧蚀或者放入盐浴中去除SU-8胶；4）结束，最后得到沉积在陶瓷衬底上的Pt金属微结构图形。该发明利用了SU-8负性光刻胶耐热性好的特点，用剥离工艺制造Pt电阻温度传感器，工艺简单易行，大大降低了成本。

主权项

一种Pt电阻温度传感器的制造方法，其特征在于包括以下步骤：第一步，在陶瓷衬底上涂覆SU‑8光刻胶，光刻出微结构图形；第二步，将光刻完成的陶瓷基片放入磁控溅射设备，溅射Pt金属；第三步，将上述得到陶瓷基片放到O2气氛的炉子中烧蚀或者放入盐浴中去除SU‑8胶，最后得到沉积在陶瓷衬底上的Pt金属微结构图形。