发明名称 薄膜晶体管及其制作方法、修复方法和阵列基板
摘要 本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、修复方法和阵列基板,涉及显示技术领域,解决了薄膜晶体管经修复后不能正常工作,以及包括该薄膜晶体管的阵列基板经修复后像素单元成为暗点,影响阵列基板良品率的技术问题。该薄膜晶体管包括:栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极,所述源极包括相互独立的第一源极部和第二源极部,所述第一源极部和所述第二源极部分别与所述有源层电连接;和/或,所述漏极包括相互独立的第一漏极部和第二漏极部,所述第一漏极部和所述第二漏极部分别与所述有源层电连接。本发明还提供了一种该薄膜晶体管的制作方法、修复方法和包括该薄膜晶体管的阵列基板。
申请公布号 CN103489923A 申请公布日期 2014.01.01
申请号 CN201310484547.9 申请日期 2013.10.16
申请人 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 发明人 金基用;罗丽平;许朝钦;李正勋
分类号 H01L29/786(2006.01)I;H01L29/417(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种薄膜晶体管,包括:栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极,其特征在于,所述源极包括相互独立的第一源极部和第二源极部,所述第一源极部和所述第二源极部分别与所述有源层电连接;和/或,所述漏极包括相互独立的第一漏极部和第二漏极部,所述第一漏极部和所述第二漏极部分别与所述有源层电连接。
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