发明名称 |
薄膜晶体管及其制作方法、修复方法和阵列基板 |
摘要 |
本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、修复方法和阵列基板,涉及显示技术领域,解决了薄膜晶体管经修复后不能正常工作,以及包括该薄膜晶体管的阵列基板经修复后像素单元成为暗点,影响阵列基板良品率的技术问题。该薄膜晶体管包括:栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极,所述源极包括相互独立的第一源极部和第二源极部,所述第一源极部和所述第二源极部分别与所述有源层电连接;和/或,所述漏极包括相互独立的第一漏极部和第二漏极部,所述第一漏极部和所述第二漏极部分别与所述有源层电连接。本发明还提供了一种该薄膜晶体管的制作方法、修复方法和包括该薄膜晶体管的阵列基板。 |
申请公布号 |
CN103489923A |
申请公布日期 |
2014.01.01 |
申请号 |
CN201310484547.9 |
申请日期 |
2013.10.16 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
发明人 |
金基用;罗丽平;许朝钦;李正勋 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L29/417(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种薄膜晶体管,包括:栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极,其特征在于,所述源极包括相互独立的第一源极部和第二源极部,所述第一源极部和所述第二源极部分别与所述有源层电连接;和/或,所述漏极包括相互独立的第一漏极部和第二漏极部,所述第一漏极部和所述第二漏极部分别与所述有源层电连接。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |