光纤放大器、光源装置、曝光装置、被检查物检查装置及加工装置

摘要

提供一种FDFA放大器,即使泵激光之强度改变,输出光之偏光状态改变仍小。偏光状态调整光学元件,系由1/2波长板与1/4波长板构成,用以调整偏光之方向与椭圆度。藉事先调整偏光状态调整光学元件2,即使泵激光源8之输出改变,FDFA放大器3之输出光之偏光特性(偏光方向与椭圆度)亦不会改变或改变程度变得非常小,在此状态下,利用偏光状态调整光学元件4,调整进入波长转换光学系统5之雷射光之偏光状态,使波长转换光学系统5之转换效率变最大。