| 发明名称 | 光致抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光致抗蚀剂组合物，其包含：树脂，所述树脂显示通过酸的作用在碱性水溶液中的溶解度增加；酸生成剂；增塑剂；和溶剂，所述溶剂的量为所述光致抗蚀剂组合物的总量的40至75质量％。 | ||
| 申请公布号 | CN103488048A | 申请公布日期 | 2014.01.01 |
| 申请号 | CN201310218296.X | 申请日期 | 2013.06.04 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 河村麻贵;中西润次 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李新红 |
| 主权项 | 一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：树脂，所述树脂显示通过酸的作用在碱性水溶液中的溶解度增加；酸生成剂；增塑剂；和溶剂，所述溶剂的量为所述光致抗蚀剂组合物的总量的40至75质量％。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||